日前,由中科院长春应化所承担的吉林省科技发展计划项目“有机TFT(薄膜晶体管)器件研究”通过了吉林省科技厅组织的专家验收。科技人员经过5年的不懈努力,在器件加工工艺、有机薄膜制备和材料合成的关键环节上取得突破,发展出了具有容易集成加工和高功能性优点的系统技术和新型有机晶体管器件,为我国OTFT(有机薄膜晶体管)平板显示技术的进一步开发拓展出空间。
平板显示技术在国民经济中占有重要位置,是国际高技术竞争的一个焦点。OTFT的作用与非晶硅TFT相同,是平板显示的关键技术。国际上开展OTFT材料与器件研究已近20年,其鲜明的技术特点是加工温度低于200℃,不但是平板显示的一个关键技术,而且也是发展新概念柔性显示和塑料IC的关键技术,国际大公司和著名研究机构纷纷投入研发。但是,如何设计与加工高功能的器件兼具廉价加工工艺、如何设计与合成兼具高迁移率和优异环境稳定性的有机半导体材料,仍然是该领域目前迫切需要解决的关键问题。
长春应化所于2002年在吉林省科技厅的支持下承担了这一项目。他们利用在有机光电材料研发上的优势,针对OTFT综合性能提高和OTFT-LCD集成的需要,采用有机半导体金属酞菁和新型器件结构,对提高迁移率、稳定性和集成加工工艺进行了有效的探索和研究。研制出全光刻工艺制备的积累型OTFT器件,迁移率达到0.2cm2/Vs,开关电流比达到107,工作寿命超过5000个小时。综合性能指标超过国际上报道的同类光刻工艺OTFT的性能,达到全光刻工艺制备的累积型OTFT国际领先水平。并制备出3英寸200×160和64×64象素的OTFT-LCD原型器件。
据介绍,该项目注重发展自主知识产权,在有机半导体材料、绝缘栅材料和OTFT器件结构、集成器件和集成加工工艺方面取得了系统的知识产权。(石明山 于伯林)